Государственный первичный эталон единицы давления для области абсолютного давления в диапазоне 1 · 10–1 – 7 · 105 Па ГЭТ 101–2011: анализ состояния и тенденций развития

   Рассмотрены вопросы, связанные с созданием и совершенствованием системы метрологического обеспечения РФ в области абсолютного давления, обозначены основные этапы и результаты теоретических и практических научно-исследовательских работ в области измерений абсолютного давления, проводимых в ФГУП «ВНИИМ им. Д. И. Менделеева». В сжатом виде приведены исторические сведения о создании первичных эталонов и поверочных схем в области измерения давления. Проведен краткий анализ состояния и тенденций развития мировой метрологии в области измерения абсолютного давления, основанный на литературных данных и результатах ключевых сличений. Изложены причины, обусловливающие необходимость совершенствования Государственного первичного эталона единицы давления для области абсолютного давления, предложены пути осуществления модернизации эталона. Описаны принципы действия и особенности конструкций эталонных комплексов из состава Государственного первичного эталона единицы абсолютного давления ГЭТ 101–2011. Перечислены основные метрологические характеристики эталона, опубликованы итоги ключевых сличений, результаты исследований эталона и международного сотрудничества. Изложены и проанализированы существующие проблемы эталонной базы РФ в области абсолютного давления и пути дальнейшего совершенствования первичного эталона. Дана оценка метрологических характеристик Государственного первичного эталона единицы абсолютного давления после окончания работ по его модернизации.

1. Сто лет государственной службы мер и весов в СССР / Б. М. Леонов [и др.]. Москва; Ленинград: Гос. изд-во техн.-теорет. лит-ры, 1945. 376 с.

2. Полухин Г. И., Цвелик В. А. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 2,7 · 102 – 4 000 · 102 Па // Измерительная техника. 1977. № 6. С. 5–6.

3. Thomas A. M., Johnson D. P., Little J. W. Design of an interferometric oil manometer for vacuum measurement // Transactions the ninth national vacuum symposium, American vacuum society. 1962. P. 468–473.

4. Aubry B., Delbart R. Manometre differential interferometrique systeme Peube // Le Vide. 1965. Vol. 20, № 117. P. 194–199.

5. Poulter K. F., Nash P. J. An interferometric oil micromanometer // Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1979. Vol. 12. P. 931–936.

6. A new interferometric manometer / E. R. Harrison [et al.] // Metrologia. 1976. Vol. 12. P. 115–122.

7. Heydemann P. L. M., Tilford C. R., Hyland R. W. Ultrasonic manometers for low and medium vacuum under development at the National Bureau of Standards // Journal of Vacuum Science & Technology A. 1977. Vol. 14(1). P. 597–605.

8. Final report on key comparison CCM.P-K4 in absolute pressure from 1 Pa to 1 000 Pa / A. P. Miiller [et al.] // Metrologia. 2002. Vol. 39. Tech. Suppl. 07001.

9. Final report on key comparison CCM.P-K2. Pressure (10 kPa to 120 kPa). Absolute Mode / M. Perkin [et al.] // Metrologia. 2008. Vol. 45. Tech. Suppl. 07002. doi: 10.1088/0026–1394/45/1A/07002

10. Новый Государственный первичный эталон единицы давления / И. В. Садковская [и др.] // Мир измерений. 2012. № 2. С. 19–25.

11. Final report on the key comparison CCM.P-K4.2012 in absolute pressure from 1 Pa to 10 kPa / J. Ricker [et al.] // Metrologia. 2017. Vol. 54. Tech. Suppl. 07002. doi: 10.1088/0026–1394/54/1A/07002

12. A new primary standard oil manometer for absolute pressure up to 10 kPa / Li Yanhua [et al.] // Metrologia. 2015. Vol. 52. P. 111–120. doi: 10.1088/0026–1394/52/1/111

13. Ehlers S., Sabuga W. Progress in development of an interferometric oil manometer // ACTA IMEKO. 2020. Vol. 9. № 5. P. 334–337. doi: 10.21014/acta_imeko.v9i5.995

14. Садковская И. В., Эйхвальд А. И., Эйхвальд Т. А. Лазерный интерференционный масляный манометр // Измерительная техника. 2019. 3. С. 3–7. doi: 10.32446/0368–1025it.2019-3-3-7

15. Садковская И. В., Эйхвальд А. И. Лазерный интерференционный ртутный манометр государственного первичного эталона единицы давления ГЭТ 101-2011 // Измерительная техника. 2014. № 11. С. 11–14.

16. Садковская И. В., Эйхвальд А. И., Rantanen M., Semenoja S. Результаты сличений лазерного интерференционного масляного манометра с национальными эталонами Финляндии // Измерительная техника. 2011. № 5. С. 66–70.

17. Садковская И. В., Эйхвальд А. И., Эйхвальд Т. А. Измерение сжимаемости рабочей жидкости лазерного интерференционного масляного вакуумметра с помощью интерференционного пьезометра низкого давления // Измерительная техника. 2018. № 5. С. 47–49.

18. Садковская И. В., Эйхвальд А. И., Эйхвальд Т. А. Исследование неопределенности измерений лазерного интерференционного масляного манометра высокого разрешения, вносимой оптическим интерферометром с фазовой модуляцией // Приборы. 2021. № 6. С. 9–12.

19. Лазерный интерференционный масляный манометр пат. RU2 262 677 C1 РФ; заявл. 18. 10. 2004; опубл. 20. 10. 2005, Бюл. № 29. 6 с.

20. Лазерный интерференционный ртутный манометр пат. RU2 559 163 C1 РФ; заявл. 05. 05. 2014; опубл. 10. 08. 2015, Бюл. № 22. 8 с.

21. Об утверждении Стратегии обеспечения единства измерений в Российской Федерации до 2025 г.; Распоряжение Правительства РФ от 19 апреля 2017 года № 737-р // Информационно-правовой портал Гарант.ру [сайт]. URL: https://www.garant.ru/products/ipo/prime/doc/71563952/