Резонансный вакуумметр
Аннотация
Данная статья посвящена разработке и исследованию метрологических характеристик преобразователя, реализующего резонансный метод и предназначенного для измерения абсолютного давления в широком диапазоне 10 до 10000 Па.
Об авторах
В. Н. Горобей
ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева»
Россия
Россия
Горобей Владимир Николаевич – кандидат технических наук, руководитель лаборатории
190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19
Р. Э. Кувандыков
ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева»
Россия
Россия
Кувандыков Рустам Эгамбердыевич – ведущий инженер
190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19
Р. А. Тетерук
ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева»
Россия
Россия
Тетерук Роман Анатольевич – кандидат технических наук, руководитель научно-исследовательского отдела государственных эталонов в области измерений давления
190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19
Список литературы
1. Испытания современных вакуумметров в целях утверждения типа за последние 10 лет / А. И. Анцукова [и др.] // Вакуумная техника и технологии – 2018: 25 Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием (5–7 июня 2018, Санкт-Петербург): Труды. Санкт-Петербург, 2018.
2. Горобей В. Н., Гаршин А. Я., Кувандыков Р. Э. Резонансный вакуумметрический преобразователь, созданный по технологии МЭМС // Вакуумная техника и технологии – 2017: 24 Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием (6 июня 2017, Санкт-Петербург): Труды. Санкт-Петербург, 2017.
3. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Краткий курс теоретической физики. Механика. М.: Наука, 1969. 304 c.
4. Kurth S. et al. A new vacuum friction gauge based on a Si tuning fork // Sensors and Actuators A: Physical, 2002, V. 97, pp. 167–172.
5. Авдонин А. С. Прикладные методы расчета оболочек и тонкостенных конструкций. М.: Машиностроение, 1969. 405 c.
Для цитирования:
Горобей В.Н., Кувандыков Р.Э., Тетерук Р.А. Резонансный вакуумметр. Эталоны. Стандартные образцы. 2020;16(1):17-23. https://doi.org/10.20915/2687-0886-2020-16-1-17-23
For citation:
Gorobey V.N., Kuvandykov R.E., Teteruk R.A. Resonant vacuum gauge. Measurement Standards. Reference Materials. 2020;16(1):17-23. (In Russ.) https://doi.org/10.20915/2687-0886-2020-16-1-17-23
Просмотров: 334
Послать статью по эл. почте 