rmjournalЭталоны. Стандартные образцыMeasurement Standards. Reference Materials2687-0886D. I. Mendeleyev Institute for Metrology10.20915/2687-0886-2020-16-1-17-23rmjournal-234Research ArticleЭталоныStandardsРезонансный вакуумметрResonant vacuum gaugeГоробейВ. Н.GorobeyV. N.

Горобей Владимир Николаевич – кандидат технических наук, руководитель лаборатории

190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19

Vladimir N. Gorobey – PhD (Engineering), head of laboratory

19 Moskovsky ave., St. Petersburg, 190005,

V.N.Gorobey@vniim.ruКувандыковР. Э.KuvandykovR. E.

Кувандыков Рустам Эгамбердыевич – ведущий инженер

190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19

Rustam E. Kuvandykov – engineer

19 Moskovsky ave., St. Petersburg, 190005,

ruskuw@mail.ruТетерукР. А.TeterukR. A.

Тетерук Роман Анатольевич – кандидат технических наук, руководитель научно-исследовательского отдела государственных эталонов в области измерений давления

190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19

Roman A. Teteruk – PhD (Engineering), head of the research department of state standards in the field of pressure measurements

19 Moskovsky ave., St. Petersburg, 190005,

R.A.Teteruk@vniim.ruФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева»РоссияD. I. Mendeleyev Institute for MetrologyRussian Federation2020230620201611723Copyright © Горобей В.Н., Кувандыков Р.Э., Тетерук Р.А., 20202020Горобей В.Н., Кувандыков Р.Э., Тетерук Р.А.Gorobey V.N., Kuvandykov R.E., Teteruk R.A.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.rmjournal.ru/jour/article/view/234

Данная статья посвящена разработке и исследованию метрологических характеристик преобразователя, реализующего резонансный метод и предназначенного для измерения абсолютного давления в широком диапазоне 10 до 10000 Па.

This article is devoted to development and research of sensitive elements, transducers and vacuum gauges created by resonant method and intended for measuring absolute pressure in a wide range from 10 to 104 Pa.

vacuumpressureresonant methodMEMS transducerReferencesИспытания современных вакуумметров в целях утверждения типа за последние 10 лет / А. И. Анцукова [и др.] // Вакуумная техника и технологии – 2018: 25 Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием (5–7 июня 2018, Санкт-Петербург): Труды. Санкт-Петербург, 2018.Antsukova A. I., Gorobei V. N., Pimenova A. A., Chernyshenko A. A. Ispytaniia sovremennykh vakuummetrov v tseliakh utverzhdeniia tipa za poslednie 10 let [Tests of modern vacuum gauges for type approval over the past 10 years]. Trudy 25-i Vserossiiskoi nauchno-tekhnicheskoi konferentsii s mezhdunarodnym uchastiem «Vakuumnaia tekhnika i tekhnologii – 2018» [Proceedings of the 25th All-Russian Scientific and Technical Conference with international participation «Vacuum Engineering and Technology – 2018»]. Sankt-Petersburg, 5–7 June 2018. (In Russ.).Горобей В. Н., Гаршин А. Я., Кувандыков Р. Э. Резонансный вакуумметрический преобразователь, созданный по технологии МЭМС // Вакуумная техника и технологии – 2017: 24 Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием (6 июня 2017, Санкт-Петербург): Труды. Санкт-Петербург, 2017.Gorobei V. N., Garshin A. Ia., Kuvandykov R. E. Rezonansnyi vakuummetricheskii preobrazovatel’, sozdannyi po tekhnologii MEMS [Resonance vacuum gauge created using MEMS technology]. Trudy 24-i Vserossiiskoi nauchno-tekhnicheskoi konferentsii s mezhdunarodnym uchastiem «Vakuumnaia tekhnika i tekhnologii – 2017» [Proceedings of the 24th All-Russian Scientific and Technical Conference with international participation «Vacuum Engineering and Technology – 2017»]. Sankt-Petersburg, 6 June 2017. (In Russ.).Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Краткий курс теоретической физики. Механика. М.: Наука, 1969. 304 c.Landau L. D., Lifshits E. M. Kratkii kurs teoreticheskoi fiziki. Mekhanika [Short course of theoretical physics. Mechanics.]. Nauka Publ., Moscow, 1969. 304 p. (In Russ.).Kurth S. et al. A new vacuum friction gauge based on a Si tuning fork // Sensors and Actuators A: Physical, 2002, V. 97, pp. 167–172.Kurth S. et al. A new vacuum friction gauge based on a Si tuning fork. Sensors and Actuators A: Physical. 2002;97:167–172.Авдонин А. С. Прикладные методы расчета оболочек и тонкостенных конструкций. М.: Машиностроение, 1969. 405 c.Avdonin A. S. Applied methods for calculating shells and thin-walled structure. Mashinostroenie Publ., Moscow, 1969. 405 p. (In Russ.).

The authors declare that there are no conflicts of interest present.