Развитие системы метрологического обеспечения в области вакуумных измерений: на примере ВНИИМ им. Д. И. Менделеева
https://doi.org/10.20915/2077-1177-2022-18-2-73-88
Аннотация
В статье рассмотрены вопросы, связанные с совершенствованием системы метрологического обеспечения в области вакуумных измерений в работах ФГУП «ВНИИМ им. Д. И. Менделеева». Обосновывается актуальность и востребованность вакуумной техники и вакуумных измерений для промышленности Российской Федерации. Автор показывает в исторической ретроспективе, какие тенденции и стратегии доминировали в данной области. Изложены основные этапы и результаты теоретических и практических научно-исследовательских работ в области вакуумных измерений, проведённых во ФГУП «ВНИИМ им. Д. И. Менделеева» за последнее время. Подчеркивается, что в научном сообществе Российской Федерации и ФГУП «ВНИИМ им. Д. И. Менделеева» существует колоссальный эвристический потенциал и солидная материальная база, которые позволяют ожидать новейших прогрессивных подходов и решений в области метрологического обеспечения вакуумных измерений.
Об авторе
А. А. Чернышенко
ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева»
Россия
Россия
канд. техн. наук, руководитель лаборатории вакуумных измерений
Список литературы
1. Сенатов Д. Е., Чернышенко А. А. Совершенствование диафрагмы большой проводимости из состава установки эталонной 1-го разряда вакуумметрической редукционной ВОУ-1 // Вакуумная техника и технологии – 2021 : сб. труд. 28-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием, Санкт-Петербург, 22–24 июня 2021 / под ред. Анцуковой А. И. [и др.] СПб. : Изд-во СПбГЭТУ ЛЭТИ, 2021. С. 134–139.
2. Чернышенко А. А., Каменских Ю. И. Вакуумная система Ватт-весов: аспекты разработки // Эталоны. Стандартные образцы. 2021. Т. 17, № 4. С. 5–12. https://doi.org/10.20915/2077-1177-2021-17-4-5-12
3. Чернышенко А. А. «Эталон на столе» – новая реальность в условиях глобальной трансформации Международной системы единиц // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. 2022. Т. 15, № 2. С. 5–22. https://doi.org/10.32603/2071-8985-2022-15-2-5-22
4. Чернышенко А. А. Теоретические и практические вопросы разработки эталона для поверки и калибровки мер потока газа в вакууме. СПб.: Редакция Парадигма, 2020. 176 с.
5. Основы вакуумной техники: учебник для техникумов электрон. Приборов / А. И. Пипко [и др.]. 2-е изд., перераб. и доп. М.: Энергоиздат, 1981.
6. Чернышенко А. А. К истории метрологических исследований в области потока газа в вакууме // Парадигма: философско-культурологический альманах. 2016. № 23. С. 140–148.
7. Кудрявцев П. С. Эванджелиста Торричелли. М.: Знание, 1958.
8. Лебедев В. И. Исторические опыты по физике: научное издание. М.; Л.: ОНТИ, 1937. 311 с.
9. Льоцци М. История физики: пер. с итал. Э. Л. Бурштейна. М.: Мир, 1970.
10. Столетов А. Г. Очерки развития наших сведений о газах. Собр. соч. М.; Л.: 1941.
11. Грошковский Я. Техника высокого вакуума: пер. с польского В. Л. Булата, Э. Л. Булата с приложением Э. М. Рейхруделя, Г. В. Смирницкой. М: Мир, 1975.
12. Левин Г. Основы вакуумной техники: пер. с англ. Н. Б. Шпаро, А. М. Ямпольского; под общ. ред. проф. Р. А. Нилендера. М.: Энергия, 1969.
13. Чеффи Э. Л. Теория электронных ламп : учеб. пособие для втузов связи : пер. с англ. Э. Л. Чеффи; под ред. Н. А. Никитина. М.: Связьтехиздат, 1937.
14. Боровик С. А. Два новых насоса высокого разрежения // Журнал Русского физико-химического общества. Часть физика. 1913. Т. 45. Вып. 8. Отд. 2.
15. Боровик С. А., Павлов В. И. Получение светящегося разряда в газе при малых разностях потенциалов. Петроград: Печатный труд, 1915.
16. Каценеленбоген М. Е., Власов В. Н. Справочник работника механического цеха. 2-е изд., перераб. и доп. М. : Машиностроение, 1984. 239 с.
17. Kelly M. J. Oliver Ellsworth Buckley (1887–1959): Biographical Memoir. Washington: National academy of sciences, 1964. 34 p.
18. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники: пер. с англ., под ред. М. И. Меньшикова. М.: Мир, 1964. 715 с.
19. Knudsen M. The kinetic theory of gases. some modern aspects. London: MethuenL, 1934.
20. Ерюхин А. В. Основы вакуумных измерений. М. : Машиностроение, 1977. 40 с.
21. Ершов Б. Д., Попов Н. Г., Саксаганский Г. Л. Методы анализа молекулярных потоков. Ротапринт. Ленинград : НИИЭФА, 1979. 64 с.
22. Саксаганский Г. Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. М.: Атомиздат, 1980. 216 c.
23. Розанов Л. Н. Вакуумная техника: учебник для вузов по специальности Вакуумная техника. 2-е изд., перераб. и доп. М. : Высшая школа, 1990. 320 c.
24. Кузьмин В. В., Аляев В. А. Техника измерения вакуума: монография. Казань : КГТУ, 2009. 299 с.
25. New state primary standard GET 49–2016 of reproduction pressure unit in range 10‑6‑103 Pa / V. N. Gorobei [et al.] // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. 2018. Vol. 387, № 1. 012023. https://doi.org/10.1088/1757–899X/387/1/012023
26. Gorobey V. N., Izrailov E. K., Kuvandykov R. E., Lobashev A. A. and Chernyshenko A. A. Membrane-capacitive transducer with compensation for the primary standard of pressure / I. V. Andronov [et al.] // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. 2018. Vol. 387, № 1. 012002. https://doi.org/10.1088/1757–899X/387/1/012002
27. Чернышенко А. А. К вопросу о развитии системы метрологического обеспечения в области вакуумных измерений в настоящее время // Вакуумная техника и технологии – 2022: сб. труд. 29-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием, Санкт-Петербург, 21–23 июня 2022 г. / под ред. Д. К. Кострина, С. А. Марцынюкова. СПб. : Изд- во СПбГЭТУ ЛЭТИ, 2022. С. 107–114.
28. Способ измерения низкого абсолютного давления газа и устройство для его осуществления: патент RU2749644 C1, заявл. 23.11.2020; опубл. 16.06.2021.
29. Горобей В. Н., Чернышенко А. А. Метод статического расширения на основе мембранно-емкостного вакуумметра. Вакуумная техника и технологии // Вакуумная техника и технологии – 2017 : сб. труд. 24-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием, Санкт-Петербург, 6–8 июня 2017 г. / под ред. д-ра техн. наук А. А. Лисенкова. СПб : Изд-во СПбГЭТУ ЛЭТИ, 2017. С. 67–69.
30. Фомин Д. М., Чернышенко А. А. Вакуумметрическая редукционная установка для государственного первичного специального эталона единицы абсолютного давления в диапазоне 1∙10–6 – 1∙103 Па // Вакуумная техника, материалы и технология : материалы ХII международной научно-технической конференции, Москва, 11–13 апреля 2017 г. / под ред. д-ра техн. наук, профессора С. Б. Нестерова. М.: Новелла : ОАО НИИВТ им. С. А. Векшинского, 2017. С. 67–71.
31. Чернышенко А. А. К вопросу о системе метрологического обеспечения Российской Федерации в области измерений потоков газов в вакууме и перспективах ее развития // Вакуумная техника и технологии – 2021 : труды 28-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием, Санкт-Петербург, 21–24 июня 2021 г. / под ред. Анцуковой А. И. [и др.] СПб. : Изд-во СПбГЭТУ ЛЭТИ, 2021. С. 128–133.
32. Сенатов Д. Е., Чернышенко А. А. Универсальный интеллектуальный транспортируемый эталон модульного типа для поверки и калибровки средств измерений низких абсолютных давлений и вакуума // Актуальные задачи военной метрологии : сборник докладов 47-й научно-технической конференции молодых ученых и специалистов военных метрологов, 2022 г. С. 253–257.
33. Kangi R., Ongun B., Elkatmis A. The new UME primary standard for pressure generation in the range from 9×10–4 Pa to 103 Pa // Metrologia. 2004. Vol. 41. 251. https://doi.org/10.1088/0026–1394/41/4/005
34. Кувандыков Р. Э. и Чернышенко А. А. Модернизация программно-аппаратного комплекса отдела государственных эталонов в области измерения давления для проведения калибровки вакуумметров и разработка поверочного тренажера // Вакуумная техника и технологии – 2021 : сб. труд. 28-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием, Санкт-Петербург, 22–24 июня 2021 / под ред. Анцуковой А. И. [и др.] СПб. : Изд-во СПбГЭТУ ЛЭТИ, 2021. С. 73–79.
35. Чернышенко А. А. Современное состояние и перспективы развития эталонной базы в области измерений низких абсолютных давлений и вакуума // Вакуумная техника и технологии – 2019 : сб. труд. 26-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием. СПб.: СПб ГЭТУ ЛЭТИ, 2019. С. 59–63.
36. Чернышенко А. А. Трансформация системы метрологического обеспечения в области измерений давлений и вакуума // Вакуумная техника и технологии – 2020 : сб. труд. 27-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием. 27–29 октября 2020 г. / под ред. Д. К. Кострина и С. А. Марцынюкова. СПб. : Изд-во СПб ГЭТУ ЛЭТИ, 2020. С. 8–10.
37. Moldover M. R. Can a pressure standard be based on capacitance measurements? // Journal of Research of the National Institute of Standards and Technology. 1998. № 103(2). P. 167–175.
38. Perspectives for a new realization of the pascal by optical methods / K. Jousten [et al.] // Metrologia. 2017. № 54(6). P. 146–161.
39. Development of a new UHV/XHV pressure standard (Cold Atom Vacuum Standard) / J. Scherschligt [et al.] // Metrologia. 2017. № 54(6). P. 125–132. https://doi.org/10.1088/1681–7575/aa8a7b
40. Gaiser C., Fellmuth B., Sabuga W. Primary gas-pressure standard from electrical measurements and thermophysical ab initio calculations // Nature Physics. 2020. № 16. P. 177–180. https://doi.org/10.1038/s41567-019-0722-2
Рецензия
Для цитирования:
Чернышенко А.А. Развитие системы метрологического обеспечения в области вакуумных измерений: на примере ВНИИМ им. Д. И. Менделеева. Эталоны. Стандартные образцы. 2022;18(2):73-88. https://doi.org/10.20915/2077-1177-2022-18-2-73-88
For citation:
Chernyshenko A.A. Development of the Metrological Support System in the Field of Vacuum Measurements in the Works of D. I. Mendeleyev Institute for Metrology. Measurement Standards. Reference Materials. 2022;18(2):73-88. (In Russ.) https://doi.org/10.20915/2077-1177-2022-18-2-73-88
Просмотров:
337
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International (CC BY-NC 4.0).
Послать статью по эл. почте 
